1952年 - 1956年，就讀于清華大學無線電系，獲學士學位。
1956年，畢業(yè)于清華大學無線電系并留校任教，先后擔任清華大學電子工程系助教、講師、副教授，清華大學無線電電子學研究所所長、教授。
1960年 - 1963年，在蘇聯列寧格勒電工學院進修。
1983年 - 1985年，在美國斯坦福大學應用物理系進修并任訪問教授。
1994年 - 1999年，兼任中國科學院半導體研究所副所長。
2002年 - 2009年，擔任教育部科技委員會副主任。
2003年 - 2004年，擔任中國科學院技術科學部主任。
2004年 - 2006年，擔任中國科學院信息技術科學部主任、國家光電子工藝中心主任、中國光學學會理事長、國際光學聯合會副主席等職務。
1978年，榮獲“全國科技大會獎”。
1991年，當選中國科學院學部委員（院士）。
2001年，當選發(fā)展中國家科學院院士。
2003年，榮獲“何梁何利基金科學與技術進步獎”。
