一、硅片清洗機工作原理是什么

硅片清洗機是利用超聲波清洗技術，在清洗過程中超聲波頻率在合理的范圍內往復掃動，帶動清洗液形成細微回流，使工件污垢在被超聲剝離的同時迅速帶離工件表面，提高清洗效率。

具體的原理有以下：

1、真空脫氣，有效去除液體中氣體，且運用拋動功能，增強超聲對工件表面油污和污垢的清洗能力，縮短清洗時間。

2、洗籃轉動機構，重疊不可分拆的零件或形狀復雜的零件，也可做到均勻完整的清洗。

3、減壓真空系統(tǒng)，能吸出盲孔、縫隙及疊加零件之間的空氣，使超聲波在減壓的狀態(tài)下產(chǎn)生驚人的清洗效果。

4、真空蒸汽清洗 真空干燥系統(tǒng)，利用蒸汽洗凈做養(yǎng)護，完美實現(xiàn)清洗效果。

5、蒸汽清洗、干燥及清洗液加熱的全過程在減壓真空中進行，更有效地確保了安全性。

6、防爆配件及簡潔加熱系統(tǒng)，進一步提高安全度。

二、硅片清洗機操作說明

1、欲清洗工件放入料框內專用固定夾內，由人工將料框放上入料口，等工位機械手自動將料框送入清洗機本體，上下提升機構依照PLC指定的程序將料框搬送到相應高度位置。

2、完成對工件的清洗、噴淋、漂洗、慢提拉脫水和熱風干燥后、送至清洗機出口，運送到卸料臺出料，等工位機械手由氣缸橫向驅動，直線滑軌導向。

3、上下提升由馬達驅動，直線導軸導向，慢提拉提升機構由變頻馬達驅動，直線滑塊導向，上下料由上下提升機構獨立完成，采用觸摸屏操作系統(tǒng)，有手動和自動切換開關及有關操作按鈕，能對整個運行過程實行控制。