一、中國(guó)光刻機(jī)現(xiàn)在多少納米
2018年3月，上海微電子的90nm光刻機(jī)項(xiàng)目通過(guò)正式驗(yàn)收。也就是說(shuō)，我們的國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)目前可以做到90納米工藝。
之前有網(wǎng)友爆料，上海微電子將于2020年12月下線首臺(tái)采用ArF光源的SSA800/10W光刻機(jī)，這是一臺(tái)國(guó)產(chǎn)浸沒(méi)式DUV 光刻機(jī)，可實(shí)現(xiàn)單次曝光28nm節(jié)點(diǎn)。所以網(wǎng)絡(luò)里一直流傳著這個(gè)說(shuō)法。不過(guò)對(duì)于此消息，有人說(shuō)是真的，有人說(shuō)是假的。讓人很是迷糊。
上海微電子的確在做可以實(shí)現(xiàn)28納米制程的國(guó)產(chǎn)DUV光刻機(jī)。只是是否通過(guò)驗(yàn)收，到底何時(shí)能交付，目前未知。
28納米將會(huì)是我們國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的最高工藝水平，嚴(yán)格來(lái)說(shuō)，這個(gè)真的算不上高水平，它的前面還有14、7、5、3、2，甚至是1nm。
但是28納米是成熟工藝，生產(chǎn)成本低，只要不追求極致性能的情況下，這種制程的芯片，其性能也夠用的，用來(lái)生產(chǎn)我們?nèi)粘Ｉ钪械碾娮釉O(shè)備是沒(méi)有問(wèn)題的，例如電視、電視盒子、音響、電梯、空調(diào)、微波爐、冰箱、汽車(chē)等等。
另外，根據(jù)研究機(jī)構(gòu)IC Insights發(fā)布的《2020-2024年全球晶圓產(chǎn)能》報(bào)告，預(yù)計(jì)到2024年，半導(dǎo)體制程格局將出現(xiàn)10nm以下，10-20nm，20nm以上工藝三分天下的格局，各自市場(chǎng)占有率約為1/3，而28nm以上的成熟工藝在未來(lái)四年的市場(chǎng)份額沒(méi)有明顯變化，仍然有很大的市場(chǎng)，所以無(wú)需盲目地追求制程工藝。
二、中國(guó)高端光刻機(jī)什么時(shí)候能研制出來(lái)
很多人疑惑，中國(guó)是世界上工業(yè)生產(chǎn)能力最強(qiáng)的國(guó)家，為什么中國(guó)造不出高端的光刻機(jī)？其實(shí)最大的原因就是中國(guó)的工業(yè)是多而不精。光刻機(jī)并不是一項(xiàng)技術(shù)的突破，而是一整個(gè)光學(xué)領(lǐng)域絕大多數(shù)技術(shù)的突破。
目前全球最頂尖的光刻機(jī)接近200噸，由差不多十萬(wàn)個(gè)零件組成。其中絕大多數(shù)都是核心零件，每一個(gè)零件都需要很多技術(shù)的突破才能做出來(lái)。有工程師稱(chēng)，里面一些零件需要打磨十年才能誕生。
雖然最先進(jìn)的光刻機(jī)出自荷蘭，但荷蘭公司也只是做一個(gè)組裝和調(diào)試的工作，里面的核心零件來(lái)源于大多數(shù)西方國(guó)家。從美國(guó)到英國(guó)，從法國(guó)到比利時(shí)，所有站在西方陣營(yíng)的國(guó)家合在一起，才能造出一臺(tái)最頂尖的光刻機(jī)。所以中國(guó)要造最頂尖的光刻機(jī)并不是在和某一個(gè)國(guó)家對(duì)抗，而是在和整個(gè)西方世界對(duì)抗。
這就好比班級(jí)考試，考試的科目有數(shù)百科。總成績(jī)好點(diǎn)的學(xué)生固然能考出一個(gè)比較高的總成績(jī)，但是這個(gè)學(xué)生不能讓自己每一科的成績(jī)都達(dá)到最高。和他相比，那些成績(jī)不好的學(xué)生雖然偏科，但是他們總有一兩科自己擅長(zhǎng)的科目，這些科目總有得高分甚至是滿分的機(jī)會(huì)。這些學(xué)生最好的科目加起來(lái)，就能組成一個(gè)非常高的“各科總成績(jī)”。
要造出最頂端的光刻機(jī)，就需要這些科目每一顆都得到極高的分?jǐn)?shù)甚至是滿分。所以中國(guó)的光刻機(jī)之路并不是突破幾項(xiàng)新技術(shù)就能走穩(wěn)、走好的，中國(guó)需要在整個(gè)光學(xué)技術(shù)上的絕大多數(shù)技術(shù)中得到突破，才能以一個(gè)國(guó)家的科技實(shí)力對(duì)抗整個(gè)西方社會(huì)。
很多人疑惑中國(guó)什么時(shí)候能造出最頂尖的光刻機(jī)，這個(gè)問(wèn)題的答案沒(méi)有任何人能給出來(lái)。中國(guó)在光刻機(jī)領(lǐng)域遇到的困難，和中國(guó)當(dāng)年造原子彈時(shí)，沒(méi)有計(jì)算機(jī)，沒(méi)有離心機(jī)，沒(méi)有數(shù)據(jù)資料一樣困難。當(dāng)年中國(guó)在美國(guó)造出原子彈接近9年后擁有了自己的原子彈，中國(guó)現(xiàn)在打算大力研制光刻機(jī)也是近兩年的事情。
就目前來(lái)說(shuō)，我國(guó)最頂尖的光刻機(jī)也就是國(guó)際上2005年左右的光刻機(jī)最頂尖水平，差距在15年左右。所以很多人認(rèn)為，我國(guó)應(yīng)該會(huì)在十來(lái)年左右達(dá)到讓自己的光刻機(jī)達(dá)到國(guó)際社會(huì)的最頂尖水平。
